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JKES

Vol.2, No.1, February 1999

Porous silicon : a new material for microsensors and microactuators다공질 실리콘: 새로운 마이크로센서 및 마이크로액추에이터 재료
JKES Vol.2, No.1, pp.17~22, February 1999
DOI : 10.5229/JKES.1999.2.1.017
Nam Ki Min, Chi-Woo Lee, Woo Sik Jeong, Dong Il Kim민남기, 이치우, 정우식, 김동일

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